洁净室表面粒子清洁四种要素

化学品：将不同的化学品按一定比例配制成清洁溶剂，可获得特定的清洁效果。当溶剂渗入粒子和表面之间时，就会轻轻地把粒子从表面托起，从而减少其附着力。
温    度：一般而言，温度越高，越容易将粒子清除。
效    力：是指将粒子从表面清除所需的物理力。
时    间：某些情况下，如果让溶剂在表面多停留一些时间，洁净效果会更佳。